Wereldprimeur: imec maakt kwantumbit met behulp van High NA EUV-lithografie

LEUVEN, 19 mei 2026 - Onderzoekscentrum imec heeft voor het eerst een qubit (kwantumbit) vervaardigd met behulp van High NA EUV-lithografie, een geavanceerde chipproductietechniek om ultrafijne patronen met hoge precisie te printen. Dit markeert een mijlpaal richting industriële opschaling van betrouwbaardere qubits, de basisrekeneenheden van kwantumcomputers.

Voor specifieke rekenproblemen, zoals het ontwikkelen van nieuwe medicijnen of het simuleren van natuurkundige processen, zou een kwantumcomputer exponentieel beter kunnen presteren dan klassieke computers. Maar, voor er sprake kan zijn van een nuttige kwantumcomputer, moet het aantal qubits (de rekeneenheden van een kwantumcomputer, vergelijkbaar met de bits van een klassieke computer) opgeschaald worden. Een kwantumcomputer vergt miljoenen qubits, die onderling verbonden zijn, en dat vereist dan weer een hoge betrouwbaarheid en nauwkeurige aansturing.

Van de verschillende kwantumplatformen die momenteel onderzocht worden, gelden ‘silicium kwantumdot spin-qubits’ als een beloftevolle kandidaat voor industriële opschaling. Hun productieproces is namelijk in grote mate compatibel met de productie van reguliere computerchips (CMOS), een onderzoeksgebied waarin imec de afgelopen decennia internationale autoriteit heeft opgebouwd.

“We kunnen meesurfen op tientallen jaren aan innovatie op het gebied van halfgeleiders en we kunnen het ecosysteem dat daarrond gegroeid is, inzetten. Zo zetten we de stap van labo-experimenten naar grootschalige, produceerbare kwantumsystemen. Dit is waar de op silicium gebaseerde qubits een duidelijk voordeel hebben”, legt Sofie Beyne, projectleider en kwantumintegratie-ingenieur bij imec, uit.

Silicium-kwantumdot-spin-qubits sluiten een elektron op in een silicium-nanostructuur (de poortlaag). De ‘spin’ van het opgesloten elektron wordt gebruikt om kwantuminformatie op te slaan. De tussenruimtes tussen de verschillende poorten moeten tot een minimum worden beperkt om omgevingsruis te beperken. En daar heeft imec nu resultaten geboekt: high NA levert superieure resultaten op als het gaat om het uniform en foutloos afdrukken van dergelijke ultrafijne structuren. Zo is imec erin geslaagd een functionerend netwerk van qubits te fabriceren met openingen van amper 6 nanometer. 

“Met onze resultaten tonen we aan dat High NA EUV ingezet kan worden om deze qubits nauwkeuriger te maken, wat elementair is voor hun betrouwbaarheid. Dit is een belangrijke technische prestatie”, zegt Kristiaan De Greve, imec-fellow en programmadirecteur Quantum Computing.

Om dit resultaat te bereiken, werden de wafers verscheept naar het joint High NA lab van imec en ASML in Veldhoven (NL). Nu deze meest geavanceerde machine ook in Leuven geïnstalleerd wordt, bereiden de imec-onderzoekers in Leuven de volgende stappen voor richting industriële opschaling.

De meest geavanceerde lithografietechniek is cruciaal voor de volgende generaties geavanceerde geheugen- en rekenchips in het tijdperk van AI. Tegelijk zal High NA EUV-lithografie dus ook een sleutelrol opnemen in kritische hardwarecomponenten voor toekomstige kwantumcomputers. 

Downloaden

Als onafhankelijk onderzoekscentrum verbindt imec zich ertoe zijn expertise in te zetten om de feiten rond technologie en innovatie helder en objectief weer te geven, en zo de maatschappij te helpen ze te begrijpen en te plaatsen.

Over imec

Met meer dan 6.500 medewerkers van overal ter wereld, topwetenschappers en experten in verschillende onderzoeksdisciplines, een zeer geavanceerde R&D infrastructuur, en een uitgebreid partnernetwerk van wereldleiders uit de hightech-industrie, farma, ICT, ... Vlaamse en internationale bedrijven, start-ups, de academische wereld en kenniscentra, is imec ‘s werelds grootste onafhankelijke onderzoekscentrum in nano-elektronica en digitale technologie. Imecs onderzoek omvat geavanceerde halfgeleidertechnologie en siliciumfotonica, oplossingen voor slimme gezondheidzorg, duurzame energie, duurzame mobiliteit en slimme steden, artificiële intelligentie, 5G-communicatie en sensortechnologieën en nog veel meer.

Imec zet zijn expertise en industrieel netwerk ook in om duurzame maatschappelijke impact in Vlaanderen te creëren. Zo ondersteunt imec zowel kleinere organisaties die over beperkte R&D-middelen beschikken als grotere bedrijven in hun innovatieproces. Imec draagt als strategisch onderzoekscentrum en actieve speler in netwerkorganisaties en sectorfederaties bij aan het innovatienetwerk in Vlaanderen door de publieke sector en private sector in Vlaanderen samen te brengen, de uitwisseling van open data mogelijk te maken, en kennisuitwisseling te stimuleren.

Imec heeft zijn hoofdkantoor in Leuven, onderzoeksgroepen verspreid over de Vlaamse universiteiten, in Europa en de VS, en vertegenwoordiging in 3 continenten. In 2025 bedroegen de bedrijfsopbrengsten van imec 1,2 miljard euro. 

Meer informatie: www.imec.be

Imec is een geregistreerde merknaam voor de activiteiten van imec International en geaffilieerde entiteiten.